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| 檢測信息 | 檢測能力 | |
| 常規(guī)表面分析 | 定性分析固體樣品表面的主要成分（元素、同位素、化學態(tài)、分子結構等）； | 信息深度：＜2nm |
| 元素范圍：H~U | ||
| 成分檢出限：ppb~ppm | ||
| 質量范圍：1~12000 | ||
| 高質量分辨率： 無機材料的質量分辨率（m/?m）：Si（28Si和29SiH）>12000 有機材料的質量分辨率（m/?m）：PET（104u）>12000 | ||
| 表征不同元素和分子結構在分析區(qū)域的分布情況，從而判定成分分布的均勻性以及特定區(qū)域的成分組成等； | 空間分辨率：≤50nm | |
| 深度分析 | *深度剖析表征不同成分（元素和分子結構）從表面到深度的縱向分布，可評價擴散、摻雜、吸附、鈍化的程度以及表征多層膜層結構等； | 深度分辨：納米尺度 |
| *多種離子槍配置，滿足不同材料的深度分析需求（無機材料——單原子Ar/Cs槍/有機材料——Ar團簇離子槍（GCIB）/陶瓷和玻璃材料等——C60團簇離子槍/） | ||
| *3D重構 | ||
| 特殊分析能力 | *惰性氣氛轉移裝置，可保護電池、鈣鈦礦等樣品避免空氣和水分的影響； | —— |
| *FIB制樣及測試 | —— | |
| *冷熱樣品臺 | —— | |
| *MS/MS配件，適用于分析高分子材料，對于質量數(shù)接近的大分子離子，MS1譜圖難以區(qū)分，MS2可對特定例子進行誘導碰撞接力生成特征離子碎片，進一步推斷大分子結構； | —— | |
| *可半定量分析所測得的元素以及分子結構的相對含量（需要標準樣品）； | 成分檢出限：ppb~ppm |
