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| 檢測信息 | 檢測能力 | |
| 常規(guī)表面定性定量分析 | 定性定量分析固體樣品表面的主要成分； | 信息深度：<10nm |
| 分析固體樣品表面除氫和氦以外所有元素組成 ； | （Li~U） | |
| 定量分析所測得的元素的相對含量（原子百分比）； | 檢出限：0.1-1% | |
| 多點(diǎn)分析，可同時對樣品表面多個區(qū)域進(jìn)行分析 | —— | |
| SEM成像分析 | SEM成像，表征樣品表面形貌信息，高空間分辨率 | 成像空間分辨率<3nm |
| Mapping分析/Line分析 | 表征不同元素在分析區(qū)域的分布情況，從而判定成分分布的均勻性以及特定區(qū)域的成分組成等； | 采譜空間分辨率<8nm |
| 深度分析 | 深度剖析表征不同元素從表面到深度的縱向分布，可評價擴(kuò)散、吸附、鈍化的程度以及表征多層膜層結(jié)構(gòu)等； | 深度分辨：納米尺度 |
| 特殊分析項(xiàng)目 | *惰性氣氛轉(zhuǎn)移管，可保護(hù)電池、鈣鈦礦等樣品避免空氣和水分的影響； | —— |
| *原位液氮冷脆斷裝置，在真空腔室里進(jìn)行原位的冷脆斷，制備新鮮斷面，避免樣品暴露大氣被氧化或吸附環(huán)境污染，用來研究金屬合金材料，金相，或晶間晶界成分的分布以及研究金屬斷裂失效。 | —— | |
| *EBSD | —— |
